激光聚焦的另一個重要參數是光束的聚焦深度。聚焦深度的截取可按從束腰向兩邊截取至光束直徑增大5%處，聚焦深度h，這個是可以進行估算的。
由此可知，在一定聚焦光斑要求下，紫外激光打標機激光束的聚焦深度與波長成反比。對于物鏡后掃描方式，如果采用靜態(tài)聚焦方式，其聚焦面為一個球弧面，如果其在整個工作面內的離焦誤差控制在聚焦深度范圍之內，則可采用靜態(tài)聚焦方式，如果離焦誤差偏離聚焦深度范圍太遠，則需采用動態(tài)聚焦方式。
如果紫外激光打標機激光束需要傳輸較長距離，由于激光的束散角的原因，為了得到合適的聚焦光斑以及掃描一定大小的工作面，通常在選擇合適的透鏡焦距的同時，需要將激光束進行擴束。激光束擴束的基本方法有兩種：伽利略法和開普勒法。
紫外激光打標機激光束經過擴束后.減少了激光束傳輸過程中的功率密度，從而減小了激光束通過時光學組件的熱應力，有利于保護光路上的光學組件。激光束擴束后，其束散角被壓縮，減小了激光的衍射，從而能夠獲得較小的策熱光斑。
