高功率紫外激光器廣泛應(yīng)用于晶圓刻劃、陶瓷襯底切割、硅基襯底的打孔、柔性電路板切割等諸多領(lǐng)域。隨著加工精細度及生產(chǎn)效率的不斷提高,對紫外激光器的光束質(zhì)量、輸出功率及穩(wěn)定性要求越來越高。梅曼激光長期致力于激光技術(shù)的開發(fā)和創(chuàng)新,尤其在高功率紫外激光器方面做了大量的創(chuàng)新性和開創(chuàng)性工作,開發(fā)出了高功率、高光束質(zhì)量、高穩(wěn)定性的紫外激光器,滿足激光微加工的需求。
梅曼激光通過對紫外激光器技術(shù)的深入研究,總結(jié)出了影響紫外激光器功率提升和長期穩(wěn)定性的三大因素,包括激光器的熱效應(yīng)、三倍頻晶體的損傷、光路的失調(diào)與長期穩(wěn)定性,通過解決這三個方面的技術(shù)瓶頸,大大提高紫外激光器的性能,從而實現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量、高穩(wěn)定性的紫外激光器。
高功率紫外,有效解決功率衰減,并擁有優(yōu)越的光束質(zhì)量和脈沖穩(wěn)定性,使用無憂
(光斑輪廓圖)
(M2測試圖)
(功率穩(wěn)定性)
在激光器的熱效應(yīng),梅曼激光在國內(nèi)率先開展了波長鎖定激光二極管共振泵浦技術(shù),通過對不同晶體參數(shù)(摻雜濃度、溫度、長度)以及泵浦參數(shù)(浦功率密度和模式匹配)的優(yōu)化,有效的降低了激光器的熱效應(yīng),增加了振蕩光的模體積,提高了基頻光的光光轉(zhuǎn)換效率和光束質(zhì)量,為實現(xiàn)高功率的紫外激光輸出供強有力的前提條件。
在三倍頻晶體抗損傷方面,梅曼激光合理設(shè)計了激光諧振腔,使其在滿足模式匹配條件的同時降低三倍頻晶體端面的光功率密度,提高紫外激光器輸出功率上限。同時采用腔內(nèi)氣體微循環(huán)系統(tǒng)和腔內(nèi)去非金屬化技術(shù),對腔內(nèi)產(chǎn)生的揮發(fā)物進行有效控制,提高了三倍頻晶體的使用壽命。
在光路的失調(diào)和長期穩(wěn)定性方面,梅曼激光采用獨有的光路補償技術(shù)和對諧振腔的優(yōu)化,降低光學(xué)諧振腔的失調(diào)靈敏度,提高光路的自身穩(wěn)定性,在機械結(jié)構(gòu)方面,通過對激光器殼體及光學(xué)機械零件的力學(xué)分析和計算,設(shè)計出了高穩(wěn)定性的光學(xué)機械結(jié)構(gòu),并通過特殊的加工方式及熱處理方案降低材料的形變量,保證激光器的長期穩(wěn)定性。
梅曼激光通過對高功率紫外激光器多維度的技術(shù)攻關(guān),研制出高功率、高光束質(zhì)量、高穩(wěn)定性的30W級、長壽命355nm紫外激光器,該激光器可以滿足7x24h的高強度使用環(huán)境并能夠保持長期的穩(wěn)定性,可以廣泛應(yīng)用于激光微加工領(lǐng)域。
梅曼激光憑借強大的創(chuàng)新能力,贏得了良好的市場口碑和廣泛的客戶基礎(chǔ),產(chǎn)品涵蓋了從紅外到紫外,從連續(xù)到脈沖多種激光器產(chǎn)品,公司本著科技創(chuàng)新,產(chǎn)業(yè)報國的理念,止于至善的工匠精神,一步一個腳印的踏實發(fā)展,做好每一款產(chǎn)品,服務(wù)每一個客戶。