美國(guó)AALBORG質(zhì)量流量計(jì)
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產(chǎn)品詳情
廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)
域。產(chǎn)品特點(diǎn)：性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總
量計(jì)數(shù)器典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、
表面處理等鍍膜工藝 。設(shè)計(jì)特點(diǎn)：－剛性金屬結(jié)構(gòu) －流程范圍從0開始到10
sccm直到0到10
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